CVD炉--中国科学院新疆理化技术研究所

实验设备

CVD炉

2022-09-06 | 【大中小】

仪器简介

OTF-1200X-III-80SLCVD炉是一款CE认证的三温区可滑动管式炉，配置dia80x94” 石英管和法兰，工作温度最高达1200°C。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/min。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子。

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