牛津公司电制冷能谱仪，型号为Oxford X-MaxN50，联合场发射扫描电镜对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。 大面积SDD能谱技术，更优异的分析性能; 更好的分辨率，80mm2的探头也能达到123eV (MnKa)。 具备高速能力， 灵敏度相当于传统10mm2 电制冷探头15 倍。