探针式表面轮廓仪基于触针式扫描原理，可对样品表面进行非破坏性测量，精确获取从亚纳米到毫米级的台阶高度、粗糙度、波纹度及三维形貌等关键参数。该系统具备优异的垂直分辨率与重复性，适用于薄膜厚度、微观结构、表面缺陷及几何轮廓的定量分析，是半导体、光学、微电子及材料科学等领域进行表面质量检测与工艺控制的重要检测设备。

仪器型号：DEKTAK XT

厂家：德国布鲁克

配置：探针（2 μm）

仪器参数：垂直方向扫描范围：≥1000 μm； 可测样品高度范围：≥50 mm； 垂直分辨率：≤ 0.1 nm； 测试高度方向的重复性：≤ 0.4 nm(1 μm 的标准台阶，重复测量 30 次)； 水平方向单次扫描长度：≥ 55 mm； 样品台 XY 方向行程：≥100 mm x 100 mm

测试项目：测试样品表面粗糙度、台阶高度、膜厚