仪器名称：X射线光电子能谱仪

仪器型号：K-Alpha+

生产厂家：美国赛默飞世尔公司

仪器简介：

        X射线光电子能谱仪(XPS)是较常用的表面分析技术之一，它不仅能测定材料表面的组成元素，而且还能给出各元素的化学态信息；X射线光电子能谱仪(XPS)谱图数据可对样品进行定性分析，得到有关组分，也可分别对各元素进行化学态、原子分子的化学结构、化学键结合情况分析。是一种用途广泛的分析实验技术和表面分析的有力工具，可应用于固体物理学、化学、生物、地学、矿物学、材料学、半导体、陶瓷、高分子等诸多领域中。可开展表面成分、价态分析；剖层分布分析；面分布分析；表面能带电子结构分析；超薄膜厚度成分分析。该仪器可获取0-10 nm深度的信息。 

主要参数： 

        分析器——180°双聚集半球分析器-128通道检测器

        X射线源——铝Ka微聚集单色器-可获取的光斑大小（5微米步长30至400微米）；最小聚焦束斑不大于30 μm；最大功率：72 W (400 μm X-ray spot) ；能量分辨率0.5 eV。

        离子枪——能量范围100至4000 eV

        电荷中和——又束流-超低能量电子束；中和枪能量分辨率：0.82 eV；灵敏度：分辨率为1.0 eV时信号强度不低于2000 kcps。

        样品安装——四轴样品台-60 x 60毫米样品区域，最大样品厚度20毫米

        真空系统——2个220 l/s涡轮分子泵用于进样室和分析室–自动开机，3灯丝TSP

        数据系统——Avantage数据系统–过程许可–计算机

其它说明：

        1.原则上可对除H，He之外的元素进行分析，但小于1%的元素可能测不出明显信号；

        2.适用于任何固体样品，其中块体材料样品尺寸最大高度不大于XXmm；

        3.可进行俄歇谱、价带谱分析和刻蚀分析，刻蚀一般在5 nm以内；

        4.含铁钴锰镍元素的定性为磁性样品，样品含S，F等元素或其他特殊需求需要咨询交流；

        5.孔洞丰富或比表面积大的块体材料需尽量切割为毫米级样品，以免长时间脱气。

        6.准备待测样品时应充分清洗并干燥（耐高温的样品应当在耐受温度下充分热脱附，如要了解样品的污染情况，不要进行清洗和热脱附）、此外应当避免裸手接触或长时间放置，并用洁净的样品管/瓶/袋盛装，以避免收到其它因素的污染或干扰。